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Dec
29
Tue
2015
10:45
一種石英舟清洗和飽和處理方法
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1)將石英舟放入配好的濃度為15%氫氟酸溶液中浸泡
石英舟
90min後,將石英舟放入噴淋槽純水噴淋45min ;
2)清洗
陶瓷
後的干燥:用氮氣吹干石英舟;
3)將石英舟放入爐溫850°C的管式擴散爐內,通1500ml的三氯氧磷和375ml的氧氣,時間 200min ;
石英
4)最後通入IO
石英管
L氮氣冷卻石英舟。
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